El proceso CVD ofrece una pureza y densidad teórica extremadamente altas de recubrimiento de SiC sin porosidad. Con este proceso, Nextgen Advanced Materials suministra una bandeja de grafito recubierta de SiC con alta calidad y entrega rápida. La personalización también está disponible.
Nextgen Advanced Materials INC es un fabricante líder profesional de bandejas de grafito recubiertas de SiC con alta calidad y precio razonable. Bienvenido a contactarnos. Los recubrimientos de carburo de silicio (SiC) CVD tienen muchas ventajas, incluidas superficies de pureza ultraalta y una resistencia al desgaste extremadamente alta. El proceso CVD puede proporcionar un recubrimiento de SiC con una pureza extremadamente alta y una densidad teórica sin poros. Además, como el carburo de silicio es muy duro, se puede pulir hasta obtener una superficie similar a un espejo.
Debido a que los productos de recubrimiento tienen un rendimiento excelente en entornos de alto vacío y alta temperatura, las bandejas de grafito recubiertas de carburo de silicio son muy adecuadas para la industria de semiconductores y otros entornos ultralimpios. El recubrimiento de carburo de silicio CVD ya se ha aplicado en industrias de semiconductores, como bandeja MOCVD, RTP y cámara de grabado de óxido, ya que el nitruro de silicio tiene una gran resistencia al choque térmico y puede soportar plasma de alta energía.
| Propiedad | |
| Fórmula compuesta | Sic |
| Peso molecular | 40.1 |
| Apariencia | Negro |
| Punto de fusión | 2.730° C (4.946° F) (se descompone) |
| Densidad | 3,0 a 3,2 g/cm3 |
| Material | Grafito, con revestimiento CVD SiC |
| Pureza | >99,99% para revestimiento de SiC |
| Superficie | Porosidad cero |
| Espesor del recubrimiento | 50~500um |
