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Producción y uso de crisol pirolítico de nitruro de boro (PBN)

2023-01-19

El crisol de nitruro de boro suele estar compuesto de PBN. Las cerámicas PBN son buenas en resistencia al calor, estabilidad térmica, conductividad térmica y rigidez dieléctrica a altas temperaturas, que son materiales ideales para disipar el calor y materiales aislantes para altas temperaturas.

Debido a su excelente estabilidad química, el PBN puede resistir la erosión de la mayoría de los metales fundidos. Con las características de aislamiento de alta temperatura, alta conductividad térmica y baja expansión térmica, es más adecuado para ser utilizado en condiciones ambientales difíciles, como las condiciones de fabricación de semiconductores. El crisol PBN se utiliza a menudo para fundir metales y semiconductores. Su temperatura de funcionamiento bajo vacío puede alcanzar los 1800 ℃ y la temperatura máxima de funcionamiento bajo protección atmosférica puede alcanzar los 2100 ℃. Generalmente está protegido por nitrógeno o argón (la protección de la atmósfera es para evitar la oxidación del crisol).

1. Proceso de producción:

(1) El compuesto gaseoso que contiene boro y el gas que contiene nitrógeno se someten a una reacción de deposición química de vapor sobre el núcleo del molde calentado en condiciones de vacío para obtener el prerrevestimiento;

(2) Una vez obtenido el revestimiento previo, detenga la reacción de deposición química de vapor y mantenga la temperatura sin cambios;

(3) Después de mantener la temperatura constante, la reacción de deposición química de vapor continúa para obtener el crisol pirolítico de nitruro de boro con revestimiento previo;

(4) Retire el revestimiento previo para obtener el crisol pirolítico de nitruro de boro.

2. Características principales:

(1) Tiene una excelente estabilidad química y térmica. No tiene reacciones químicas con la mayoría de los metales fundidos y semiconductores a alta temperatura;

(2) El crisol pirolítico de nitruro de boro tiene alta densidad y no tiene poros;

(3) Puede usarse repetidamente y es fácil de limpiar;

(4) Tiene una anisotropía evidente en las propiedades mecánicas, térmicas y eléctricas, así como una buena transmitancia de microondas e infrarrojos;

(5) Un buen rendimiento de aislamiento a altas temperaturas es bueno.

3. Aplicación:

Debido a que la producción del crisol de PBN no tiene el proceso tradicional de sinterización por prensado en caliente ni ningún agente de sinterización involucrado, tiene una alta pureza (99,99 % o más). La temperatura de funcionamiento bajo vacío es de hasta 1800 ℃ y la temperatura máxima de funcionamiento bajo protección atmosférica es de hasta 2100 ℃ (generalmente protegida por nitrógeno o gas argón). Además, debido a la lenta tasa de deposición, los crisoles de PBN son bastante caros y la mayoría de sus productos son de tamaño pequeño.

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