Aplicación decerámica de iolita
1. Espejo cuadrado de la máquina de litografía
Como una de las unidades centrales de la litografía.
máquina, la precisión del movimiento de la mesa de la pieza de trabajo de ultra precisión
Afecta directamente la resolución de la máquina de litografía. como el núcleo
componente de la pieza de trabajo, el espejo cuadrado proporciona una garantía para la
Precisión y eficiencia litográfica de la pieza. La carga térmica en el
El espejo cuadrado durante el funcionamiento cambia constantemente debido al flujo de calor en
el espacio de trabajo, requiriendo que la deformación cambie con la temperatura como
lo menos posible, y la distorsión causada por su funcionamiento a mayor
Se deben corregir las aceleraciones y velocidades. Por lo tanto, para cumplir con los
requisitos de precisión de la litografía, el coeficiente de expansión térmica del
El material del espejo cuadrado debe alcanzar una expansión casi nula en el punto de trabajo.
temperatura, y también debe tener buenas propiedades mecánicas. iolita
La cerámica es un material de espejo cuadrado ideal para máquinas de litografía debido a
su bajo coeficiente de expansión térmica, excelentes propiedades mecánicas y
baja densidad. ASML se ha dado cuenta de la aplicación madura y la promoción de iolite
Cerámica en las partes móviles de las máquinas de litografía.
2. Espejos ópticos para óptica.
comunicación
La iolita tiene las características de baja
Expansión térmica, alta resistencia mecánica y alta rigidez, a largo plazo.
Estabilidad dimensional y resistencia a la radiación, y se puede aplicar al espacio.
Comunicaciones ópticas. Sony CSL ha adoptado los espejos cerámicos de cordierita de Kyocera
para pequeños terminales de comunicaciones láser de seguridad en órbita terrestre baja.
3. Materiales refractarios
Debido a su bajo coeficiente de térmica
expansión, las cerámicas de iolita se utilizan a menudo como materiales de encapsulación cerámica.
y muebles del horno durante el uso del horno. Al mismo tiempo, las cerámicas de iolita tienen la
características de baja densidad, baja conductividad térmica y buena estabilidad en
altas temperaturas, y también se puede aplicar a dispositivos de intercambio de calor con rápido
cambios de temperatura, como ollas resistentes al calor. Hay una gran cantidad de
vacíos en el medio del anillo de seis miembros del cristal de iolita y en el medio
del anillo adyacente de seis miembros, y esta estructura cristalina suelta lo hace
Tienen un coeficiente de expansión térmica muy bajo, que puede usarse como pérdida.
Recubrimiento refractario de espuma en el proceso de fundición, mejorando la precisión del
fundición.
